摘要：昨天，记者在位于上虞经济开发区（曹娥街道）的浙江晶盛机电股份有限公司装配车间内看到，一台型号为TDR135A-ZJS的超导磁场单晶硅生长炉正装配完成，即将走向市场。该型号的单晶硅生长炉可投料440kg，拉制8寸、12寸的半导体级单晶棒，是国内半导体级最大直径硅单晶生长设备。此外还配置了超导磁场，能耗更低，能有效提高单晶硅的品质，技术在国际上处于先进地位。
据介绍，晶盛机电是一家专业从事晶体生长设备的自主研发、制造与销售的高新技术企业，拥有工业4.0方向的浙江省省级重点研究院，浙江省晶盛机电晶体生长装备研究院，3家省级企业研发中心等研发机构，已获得国家专利222项，另有59项控制软件已获国家软件著作权。目前主营产品有全自动单晶硅生长炉、多晶硅铸锭炉以及单晶生长炉的控制系统；新产品有区熔硅单晶炉、蓝宝石晶体炉以及单晶硅棒切磨复合加工一体机等。产品分别应用于光伏硅电池、半导体和集成电路、IGBT功率器件、LED光电子等领域的晶体材料制备，四大领域均属国家重点发展的战略性产业。
公司研发出水冷夹套技术、连续加料装置等多项国内外首创技术，实现硅晶体生长“全自动、高性能、高效率、低能耗”的国内领先、国际先进的技术，在硅晶体生长设备市场的占有率第一，先后被评为国家重点新产品、2016年浙江名牌产品。公司承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”项目的“300mm硅单晶直拉生长装备的开发”课题，已进入工业化阶段。
TDR135A-ZJS超导磁场单晶硅生长炉是继TDR130A-ZJS全自动单晶硅生长炉研发成功基础上的再次创新。该产品完成抽真空-检漏-压力控制-熔料-稳定化-引晶-放肩-转肩-等径-收尾-停炉-氧化的单晶硅生长全工艺过程的自动化控制，采用CCD直径控制系统和溶液液面位置控制技术，使单晶棒等径误差≤±1mm，达到国际同类产品的先进水平，还配备超导磁场，能耗低，能提供4000-5000Gs的磁场强度，有效提高单晶硅的品质。
“2017年，公司加强半导体高端装备技术研发，从半导体硅晶生长设备逐步延伸，重点推进在半导体硅材料生长后续的切磨抛相关设备开发应用，加快以一体机、截断机、切片机等为代表的新产品市场推广应用，延伸拓展光伏中下游高端智能装备领域新产品的研发进程。”公司有关人员介绍，2017年公司订单已超10亿元，预计年产值15亿元，税收1.8亿元，污染排放为工业零排放。